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設備配置2C2D、4C、4D設備產能180WPH襯底材質Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0

設備配置1C1D、2C、2D襯底材質Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0

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整體疊層布局，結構緊湊，節省機臺占地空間；勻膠、顯影每層2個單元，烘烤熱處理單元采用4列布置方式，與工藝單元相對稱，每列放置單元數可達5個，且各單元有獨立排風系...

Mini型全自動勻膠顯影一體設備，采用我司自主研發設計的機器人與膠泵，并在客戶端成熟應用

高產能機臺結構緊湊，占地面積小，布局采用的分體式結構，高速機器人在工藝單元間傳遞，同時工藝單元中采用共用擺臂結構，使單元結構尺寸大幅減小，單元配置更加靈活；另外...

設備采用高效機械手，重復定位精度高、產能高，自動完成勻膠、顯影工藝；配備烘烤及冷卻單元，工藝參數數字化檢測控制，自由編制、修改、儲存、調用工藝程序；故障、生產工...