當前位置:寧波潤華全芯微電子設備有限公司>>勻膠顯影機>> 8英寸勻膠顯影機 ACD8 COATER&DEVELOPER
12英寸勻膠顯影機 ACD12 COATER&DEVELOPER
8英寸勻膠顯影機 ACD8 COATER&DEVELOPER
6英寸勻膠顯影機 標準型 ACD6 COATER&DEVELOPER
6英寸勻膠顯影機 MINI型 ACD6 COATER&DEVELOPE
設備配置 | 2C2D、4C、4D |
設備產能 | 120WPH |
襯底材質 | Si、Glass等 |
線寬 | ≥90nm |
適用工藝 | i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC |
應用領域 | IC、*封裝、MEMS、功率器件、射頻集成、科研等 |
技術特征 | ?設備占地面積小,產能高,工藝單元靈活選配; ?熱板采用漸進式烘烤,冷盤漸進式冷卻; ?能適應5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝; ?標配電動泵,標配勻膠顯影管路溫控功能; ?可實現兩種尺寸兼容; ?可選配高精度熱板、光學對中、WEE等單元部件; ?可選配interface模塊,實現Inline功能。 |
設備尺寸 | 1680*1550*2500mm(W*D*H) |
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