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當(dāng)前位置：寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司>>勻膠顯影機>> 12英寸勻膠顯影機 ACD12 COATER&DEVELOPER
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
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廠商性質(zhì)其他
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更新時間：2023-08-20 11:41:43瀏覽次數(shù)：519次
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12英寸勻膠顯影機 ACD12 COATER&DEVELOPER
8英寸勻膠顯影機 ACD8 COATER&DEVELOPER
6英寸勻膠顯影機 標準型 ACD6 COATER&DEVELOPER
6英寸勻膠顯影機 MINI型 ACD6 COATER&DEVELOPE
| 設(shè)備配置 | 2C2D、4C、4D |
| 設(shè)備產(chǎn)能 | 110WPH |
| 襯底材質(zhì) | Si、Glass等 |
| 線寬 | ≥90nm |
| 適用工藝 | i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | IC、*封裝、MEMS、功率器件、半導(dǎo)體光學(xué)、科研等 |
| 技術(shù)特征 | ?設(shè)備占地面積小，產(chǎn)能高，工藝單元靈活選配； ?熱板采用漸進式烘烤，冷盤漸進式冷卻； ?能適應(yīng)5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝； ?標配電動泵，標配勻膠顯影管路溫控功能； ?可實現(xiàn)兩種尺寸兼容； ?可選配高精度熱板、光學(xué)對中、WEE等單元部件； ?可選配interface模塊,實現(xiàn)Inline功能。 |
| 設(shè)備尺寸 | 2100*2850*2500mm（W*D*H） |
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