多槽自動硅片超聲波清洗機

☆頻率功率：40HZ 192000W

☆加熱功率：100KW

☆總功率：121KW

☆承重：50KG

1. 設備名稱：全自動硅片清洗機

2. 概述：

自動硅片清洗機生產主線依次為：進料槽、超聲波清洗槽、超聲波洗劑脫脂槽、RO水超聲波漂洗槽、超聲波洗劑脫脂槽、超聲波洗劑脫脂槽、RO水超聲波漂洗槽、RO水超聲波漂洗槽、RO水超聲波漂洗槽共8個工位，其工作原理是利用超聲波滲透力強的機械振動沖擊硅片表面并結合清洗劑的化學去污作用達到對硅片表面附著的碳化硅、硅粉、金屬粉末、油污、懸浮液等雜質的清除，從而獲得表面潔凈的硅片。本設備電氣控制部分關鍵件均采用進口優質件，性能可靠，使用壽命長，單臂小車運行平穩，動作迅速、可靠。

3. 設備技術參數

3-1、設備輸入參數：

   3-1-1、清洗零件名稱、材料：太陽能硅片

  3-1-2、零件規格： 125×125mm，156×156mm

   3-1-3、清洗前狀態：含油污、雜質等

   3-1-4、生產能力： 200片/框，≥1500萬片/年

   3-1-5、單框裝載量：8只花籃/框(6″或8″花籃）

   3-1-6、清洗節拍：5min/框(可調)

  3-1-7、清潔、干燥要求：目測無明顯污染物，表面無有機物和顆粒，無花片，跡

   3-1-8、連續工作時間：24小時

   3-1-9、上、下料方式：手動上下料

   3-1-10、清洗物流方向：左進右出 和右進左出兩種形式，各三臺

   3-1-11、清洗合格率：≥99.8％

3-2、設備使用條件：

3-2-1、電源：380V±5%，頻率50Hz，三相五線制

3-2-2、總功率：約121KW

3-2-3、水源： 1＂市水進水，2＂純水進水，用量約1.5噸（每小時）

3-2-4、氣源：1/2＂壓縮空氣進口，壓力約0.5Mpa,用量6m3/h

3-2-5、溫度和濕度：環境溫度：-5～50℃，相對濕度：≤80%

3-2-6、管路：全不銹鋼管路，進、排液為不銹鋼球閥；2個2〃排污，1個2〃主進水口，1個1〃市水進水口，

3-2-7、噪聲：≤80dB

4. 工藝流程

4-1，清洗流程：上料（浸泡）→超聲清洗（擺動+加熱+鼓泡）→超聲洗劑脫脂（擺動+加熱+鼓泡）→RO水超聲波漂洗（擺動+加熱）→超聲波洗劑脫脂（擺動+加熱）→超聲波洗劑脫脂（擺動+加熱）→RO水超聲波漂洗（擺動+加熱）→RO水超聲波漂洗（擺動+加熱）→RO水超聲波漂洗（擺動+加熱）→下料

4-2，工藝配置表