中國.鑫有研電子科技有限公司
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GJTQ-B氣浮式工件臺1
GJTQ-B氣浮式工件臺
1.技術參數
l X向粗動行程：150mm、250mm等并可定制
l Y向粗動行程：150mm、250mm等并可定制
l Z向粗動行程：3mm
l θx向粗動行程：±0.6°
l θy向粗動行程：±0.6°
l θz向粗動行程：±0.3″
l X向微動行程：40μm
l Y向微動行程：40μm
l Z向微動行程：20μm
l θx向微動行程： ±25″
l θy向微動行程：±25″
l θz向微動行程： ±1.5′
l X重復定位精度：±300nm（±3σ）
l Y重復定位精度：±300nm（±3σ）
l Z重復定位精度：±300nm（±3σ）
l 分辨力：1.2nm
l 運動偏擺：＜1″
l 運動速度：500mm/s
l 氣浮剛度：1000N/μm
l 方鏡正交性：：≤0.1″
2.配置
（1）機械系統
l 直線電機3個：荷蘭Tecnotion公司產品（美國Parker公司產品可選）
l 伺服電機3個：瑞士Maxon公司產品
l 壓電陶瓷驅動器6個：德國PI公司產品
l 光柵6套：奧地利RS公司產品
l 液壓緩沖器6個：日本SMC公司產品
l 雙頻激光干涉儀1套：英國Renishaw公司產品
l 大理石基座1個(雙零級)
l 大理石導向調石1根(雙零級)
l 直線電機動子連接板3個（航天超硬鋁，7050）
l 對沖式導向氣浮墊8個
l X向氣浮導軌1根（航天超硬鋁，7050）
l Y向氣浮導軌2根（航天超硬鋁，7050）
l Z向承重氣浮導軌1根：自主研制的無摩擦、高剛度氣浮導軌
l Y向導向橫梁1根（航天超硬鋁，7050）
l Z向導向簧片1個
l 微動垂向簧片1個
l 微動臺基座1個（航天超硬鋁，7050）
l 凸輪驅動機構3套
l 真空預載氣足1個
l 工作臺面1個（航天超硬鋁，7050）
l 三自由度柔性鉸鏈1個
l 精密方鏡1個
l 限位開關4個
l 氣路系統1套
l 線纜盒2個
（2）電控系統
l 高性能多軸運動控制卡
l 運動控制卡可控制1-3軸伺服電機、步進電機
l 運動控制卡可提供3路模擬控制信號和3路脈沖+方向控制信號
l 運動控制卡集成PCI和RS-232通訊接口
l 運動控制卡集成光柵計數測量模塊，可接收20MHz編碼器信號
l 模塊化開關電源適配器
l 高精度零位檢測系統
l 高可靠軟硬件限位保護系統
l 抗干擾、高可靠復位電路系統
l 便攜式手提控制箱
l 采用屏蔽雙絞線纜，有效抑制靜電感應及電磁干擾。
（3）軟件系統
l 人性化計算機控制界面程序（提供安裝光盤，可定制）
l 高精度位置伺服復合控制程序
（4）附件
l 產品操作說明書（同時提供電子版）
2.配置
l 導軌：自主研制的無摩擦、高剛度氣浮導軌(氣浮剛度達1000N/μm以上)
l 電機：荷蘭Tecnotion公司直線電機，美國Parker公司直線電機，瑞士Maxon公司伺服電機，德國PI公司壓電陶瓷。
l 光柵：奧地利RS公司光柵，安捷倫雙頻激光干涉儀
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