中國.鑫有研電子科技有限公司
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GJTJ-4A機械式四維工件臺1.技術參數lX向行程：100mm并可定制lY向行程：100mm并可定制lZ向行程：15mm并可定制lθZ向旋轉范圍：±15°lθZ向旋轉精度：1″l重復定位精度：±300nm（±3σ）l分辨力：60nml直線性：1″到5″l正交性
GJTJ-4A機械式四維工件臺
1.技術參數
l X向行程：100mm并可定制
l Y向行程：100mm并可定制
l Z向行程：15mm并可定制
l θZ向旋轉范圍：±15°
l θZ向旋轉精度：1″
l 重復定位精度：±300nm（±3σ）
l 分辨力：60nm
l 直線性：1″到5″
l 正交性；5″
2.配置
（1）機械系統
l 電機4個：日本樂孜步進電機（伺服電機可選）
l 絲杠3根：日本THK公司產品
l 導軌4根：日本THK公司產品
l 光柵3根：美國Micro-E產品（分辨力50nm，帶零位光柵）
l 多自由度光柵讀數頭調整座3個
l 軸承10個（零級）
l 軸承座3個
l 電機座4個
l 工作臺面：航空超硬鋁（7050）
l X向導軌座：航空超硬鋁（7050）
l Y向導軌座：航空超硬鋁（7050）
l Z向導軌座：航空超硬鋁（7050）
l Z向導向保持架1個
l θZ向摩擦驅動裝置1套
l θZ向導向保持架1個
l 聯軸器3個：日本NBK公司產品
l 限位開關6個
l 球頭帶動結構2套
l 調整手輪3個
（2）電控系統
l 多軸運動控制板
l 通用RS-232通訊接口
l 高細分、低振動步進電機驅動器
l 模塊化開關電源適配器
l 高精度零位測控系統
l 高精度光柵計數測量系統
l 高可靠軟硬件限位保護系統
l 抗干擾、高可靠復位電路系統
l 便攜式手提控制箱
l 采用屏蔽雙絞線纜，有效抑制靜電感應及電磁感應干擾。
（3）軟件系統
l 人性化計算機控制界面程序（提供安裝光盤，可定制）
l 高精度位置伺服復合控制程序
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