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項目 | 規格描述 |
晶圓尺寸 | 4、6、8寸（可選） |
晶圓最小厚度 | 150um |
晶舟類型 | 開放式晶舟(SEMI Stad.25(26)-slot) |
晶舟載臺數量 | 1 |
檢查模式設置 | 全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動選擇 |
晶舟內晶圓掃描 | 有 |
晶圓預定位 | 有 |
晶圓定位平邊及Notch方式 | 非接觸式 |
晶圓定位平邊及Notch | Notch/平邊 |
檢查功能 | 微觀檢查、晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1、晶背宏觀檢查2 |
金相顯微鏡控制臺 | 有 |
全自動載物臺 | 有 |
全自動載物臺控制臺 | 有 |
全自動載物臺功能 | 自動傳送、檢查模式設置、自動定點、手動定點、自動復歸 |
顯微鏡 | 金相顯微鏡標準配置及功能 |
機臺全尺寸 | 1800*700*1200 W1*D1*H |
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