廣東海圣科技有限公司
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產品詳細介紹詳細參數內容規格A.一般規格曝光系統光源：鹵化金屬燈
| 內容 | 規格 | |
| A.一般規格 | ||
| 曝光系統 | 光源：鹵化金屬燈，輸出功率5KW，雙燈 | |
| 均勻度：≥85%（min/max) | ||
| 強度：40mw/cm² | ||
| 有效曝光面積：546*622mm | ||
| Panel規格 | 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") | |
| 厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm | ||
| 玻璃尺寸 | 上：L800*W718*8t 下：L716*W628*8t | |
| PCB靠操作面中間對位 | ||
| 曝光作業 | 雙面曝光/內層板用底片CCD自動對位系統，每片確認。對準精度±10um | |
| 底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:機械動作12秒+真空延遲+曝光時間 | |
| 密合模式 | 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表顯示) | |
| 操作方式 | 操作系統：PC系統+PLC+人機界面 | |
| 機臺尺寸 | 外部尺寸：2962L*2622W*2040H mm | |
| 輸送面高度：1040mm+50mm(卸下輪子高度可降980) | ||
| 機臺重量：3000Kg | ||
| 公用系統 | 電力：AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA | |
| 氣壓源：5~6Kg/cm2 | ||
| 冰水系統：7~11℃，60-80L/min | ||
| B.系統架構 | ||
| Panel傳送系統 | 進出料傳動：滾輪帶動PCB | |
| 進料定位：二段式靠邊定位，前緣利用滾輪慢速傳動定位， | ||
| 側邊以伺服馬達靠邊定位 | ||
| 曝光室進出移載：配合線性滑軌，以伺服馬達帶動移載機構 | ||
| 移載機取置：氣缸帶動取置架上下，真空吸盤組依板寬手動調整 | ||
| 曝光臺框 | 玻璃對玻璃方式采用高UV透光率玻璃 | |
| 上臺框由伺服馬達帶動開關，上下框間由四支定位銷定位 | ||
| 底片吸附在臺面真空槽，PCB以下臺框真空吸附 | ||
| 靜電消除 | 于進料段裝置上下靜電消除棒 | |
| 冷卻 | 燈源冷卻：氣冷，內循環直接氣冷；燈管壽命保固800小時 | |
| 燈室冷卻：燈頭部份為空氣冷卻，燈管為間接氣冷 | ||
| 曝光室冷卻：氣冷，抽取曝光室內空氣，經HEPA過濾后，再經冰水排系統冷卻吹入曝光室內，保持曝光室內溫度，并控制臺面溫度 | ||
| 臺面溫度22℃±2℃ | ||
| 潔凈控制 | 機臺使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客戶潔凈室等級需求：Class 10000 | |
| UV光源監控 | 光源保護：UV點燈/熄燈/重點燈保護 | |
| 功率控制：強弱燈切換 | ||
| 狀態監視：內建電壓、員流、功率及UV強度感測顯示 | ||
| 遮光器：旋轉開啟，裝置于燈室內，由馬達帶動 | ||
| 曝光監控：內建UV能量積算顯示 | ||
| KW數切換 | 2KW、5KW切換 | |
| 對位方式 | 4靶標CCD影像對位 | |
| 底片固定 | 臺面玻璃溝槽吸真空 | |
| 調整機構 | 微步進馬達驅動上臺框微調機構 | |
| 控制方式 | 自動對位及觸控式熒幕PC+PLC | |
| 視覺光源 | LED式CCD背光組 | |
| 底片對位精度 | ±10μm內(不含漲縮) | |
| 備注 | 外觀為不銹鋼 | |
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