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惠州市七海檢測設備有限公司
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更新時間:2023-07-18 13:15:10瀏覽次數:341次
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光罩技術的GM超高精度影像式測量儀系列,為七海之光罩技術制造而成,此技術已獲美國、中國臺灣及大陸等地區的發明和創新....
光罩技術的GM超高精度影像式測量儀系列,為七海之光罩技術制造而成,此技術已獲美國、中國臺灣及大陸等地區的發明和創新。此類機種的精度幾乎不受機械誤差及阿貝誤差影響,尤其是X、Y軸行程在600mm × 500mm以上的機型,無論是XY軸向精度,還是XY平面坐標精度皆能在5μ內,其精準度比所有百萬價值內的德國、日本或其它國外進口的機器更精準。
< 0.002mm
920*1018mm
0.001mm
750kg(包括機架)
3+5L/1000µm
30x-225x
0.7X-4.5X
700*600*100mm
專用彩色1/3英寸高解析520TV線
911*1350*1680mm
旋轉燈、自動變倍鏡頭
sony芯片高解析彩色CCD
晶元光罩坐標系統
00級花崗巖
220V 50±5HZ
1KW
20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m
40%-70%
< 30HZ
3-5KG均布
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