河北巖海科技有限公司
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霍尼韋爾Midas® 氣體探測器一、產品介紹：Midas®是用于半導體工業及其他一般工業所使用的有毒氣體以及可燃氣體的高靈敏度和可靠度的氣體探測器。通過延長的傳感器校準周期、靈活的通訊模式以及傳感器自診斷功能和流量自動控制。
霍尼韋爾Midas® 氣體探測器
氣體名稱 | 化學式 | 范圍 |
氨 | NH3 | 0-100ppm |
| AsH3 | 0-0.2ppm |
三氯化硼 | BCl3 | 0-8.0ppm |
| BF3 | 0-8.0ppm |
（低濃度的） | BF3 | 0-2.0ppm |
溴 | Br2 | 0-0.4ppm |
二氧化碳 | CO2 | 0-2% vol |
一氧化碳 | CO | 0-100ppm |
氯 | Cl2 | 0-2.0ppm |
二氧化氯 | ClO2 | 0-0.4ppm |
| ClF3 | 0-0.4ppm |
硼乙烷 | B2H6 | 0-0.4ppm |
二氯甲硅烷 | H2SiCl2 | 0-8.0ppm |
二氟甲烷 | CH2F2 | 0-120ppm |
乙硅烷 | Si2H6 | 0-20ppm |
氟 | F2 | 0-4.0ppm |
鍺烷 | GeH4 | 0-0.8ppm |
六氟丁乙烯 | C4F6 | 0-40ppm |
氫（%爆炸下限（LEL）） | H2 | 0-99% LEL |
氫（ppm） | H2 | 0-1000ppm |
溴化氫 | HBr | 0-8.0ppm |
HCl | 0-8.0ppm | |
HCN | 0-20ppm | |
氟化氫 | HF | 0-12ppm |
氟化氫（低濃度的） | HF | 0-2.0ppm |
硫化氫 | H2S | 0-40ppm |
硫化氫（高濃度的） | H2S | 0-100ppm |
甲烷（%爆炸下限（LEL）） | CH4 | 0-99% LEL |
甲基氟 | CH3F | 0-60ppm |
二氧化氮 | NO2 | 0-12ppm |
一氧化氮 | NO | 0-100ppm |
三氟化氮 | NF3 | 0-40ppm |
八氟環戊烯 | C5F8 | 0-40ppm |
氧氣能力&缺氧 | O2 | 0-25% vol |
臭氧 | O3 | 0-0.4ppm |
PH3 | 0-1.2ppm | |
氫氧化磷 | POH3 | 0-0.4ppm |
硅烷 | SiH4 | 0-20ppm |
硅烷（低濃度的） | SiH4 | 0-2.0ppm |
二氧化硫 | SO2 | 0-8.0ppm |
六氟化硫 | SF6 | 0-8000pm |
四氟化硫 | SF4 | 0-0.4ppm |
正硅酸乙酯 | TEOS | 0-40ppm |
六氟化鎢 | WF6 | 0-12ppm |
六氟化鎢（低濃度的） | WF6 | 0-2.0ppm |
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