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4850 | 4860系列橡膠密封熱式質量流量控制器

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更新時間：2022-10-27 09:49:38瀏覽次數：289次

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產品簡介

4850/4860系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器彈性體密封熱響應時間極快，適用于對時間要求嚴格的工藝熱式質量流量計和控制器的響應速度越快，工藝就越高效，生產效率越高

詳細介紹

4850 / 4860系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器

彈性體密封熱

響應時間極快，適用于對時間要求嚴格的工藝

熱式質量流量計和控制器的響應速度越快，工藝就越高效，生產效率越高。響應速度是 4800 系列的優勢：該產品將基于 MEMS 的熱傳感器與的 PID 算法相結合以控制閥的響應速度，因此使4800 系列控制器能夠根據設定值變化快速匹配實際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項能便于用戶對設備進行查看、控制和配置，無需遠程二次儀表。

4800

特點

  • 流量響應時間（完成時間）<0.75 s
  • MEMS 傳感器和 PID 算法
  • 尺寸小巧，不足常規熱式MFC的 一半：1” x 3”x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • 本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設置和操作；免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設備監測和調零
  • 通過 RS-232 實現數字化功能

優勢

  • 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
  • 響應速度快，可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
  • 非常適用于各 OEM：尺寸小巧，集成至緊湊的設備空間內并有助于加快安裝
  • 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設定值控制和設備配置的一站式解決方案；無需借助遠程二次儀表
  • 擁有多種通信方式，可輕松滿足用戶需求

應用

  • 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
  • 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統
  • 用于測量和控制反應物、校準和樣品氣體流量的分析設備


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