蝕刻洗鋁防偽

防偽標簽廠蝕刻洗鋁防偽技術可減少蝕刻腔體內含鋁顆粒物的含量，使得干蝕刻制程中顆粒物掉落于待蝕刻膜層上的概率減少，解決了線路蝕刻殘留和短路的問題，提高產品良率。

蝕刻洗鋁防偽步驟1：防偽標簽廠提供一鋁膜基板，所述鋁膜基板包括襯底基板及設于所述襯底基板上的鋁膜，在所述鋁膜上涂布光阻層，采用光罩對光阻層進行曝光顯影后形成光阻層圖形；

蝕刻洗鋁防偽步驟2：防偽標簽廠提供一干蝕刻設備，所述干蝕刻設備具有蝕刻腔體，將帶有光阻層圖形的鋁膜基板放入所述蝕刻腔體中，向所述蝕刻腔體內通入含氯氣體，對鋁膜基板進行蝕刻，所述含氯氣體對鋁膜上未被光阻層圖形覆蓋的部分進行蝕刻，得到設計圖案，在蝕刻過程中，控制所述蝕刻腔體內的溫度與壓力，使含氯氣體與鋁膜反應生成的氯化鋁保持氣體狀態，減少氯化鋁顆粒的生成；

蝕刻洗鋁防偽步驟3：采用抽氣設備抽出所述蝕刻腔體內的大部分氣體，通入含氟氣體，通電解離后，含氟氣體的等離子體與蝕刻腔體內殘留的氯化鋁發生反應，含氟氣體中的氟元素與氯化鋁中的氯元素進行置換，生成氟化鋁。