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詳細介紹
產品簡介：
FS4001系列微小型氣體 流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
產品特點：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩定度高
- 全量程高穩定性
- 全量程高度和優良的重復性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
微小型氣體流量傳感器主要參數：
性能參數 | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
*流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程比 | >100：1 | ||
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.25 | %讀數 | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8V~18Vdc,50mA | ||
輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5V~4.5Vdc | ||
*流量壓損 | 350 | 300 | pa |
*工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | (-10 ~ +55) | oC | |
存儲溫度 | (-20 ~ +65) | oC | |
工作濕度 | <>（無結冰、無凝露） | ||
機械接口 | 可拆式軟管接頭 | ||
校準方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa | ||
重量 | 15 | g | |
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