德國力士樂滑塊R162281322

上海先韻自動化科技有限公司 
王先生

BSHP 滾珠滑塊 SNS，標準，鋼質
可用于各種 SNS/SNO 滾珠導軌
*的動態特性
滾珠滑塊出廠時已經過潤滑。

應用范圍：適用于橫向上空間受限的場合
扭矩容量高
所有四個主負載方向上的高額定載荷相同
*潤滑可在數年內持續有效
可互換性不受限制，所有的滾珠導軌系統都可與各精度等級的各種版本滾珠滑塊任意組合。
德國力士樂滑塊R162281322
德國力士樂Rexrotha代理商;力士樂上海代理商
R162281320;R162282420;R162289420;R162281322

 案例1、高等級的晶圓品質管制、光罩制作
    晶圓表面的管制以及晶圓或玻璃面板的光罩通常需要采用空氣軸承式的XY平臺，以檢測出極微小的缺陷或制作出高精度的光罩。例如電子業，晶片工業以及平面顯示器業里面都采用這種方式。
    1、平面度±2un
    2、重新性±0.5um
    3、精度±1.5un

    案例2、微米技術及晶圓處理
    在微米工程等級的應用以及晶圓設備中尤其重視精度及潔凈室適用性。采用德國力士樂馬達高精度XY平臺為J佳選擇。
    1、行程200mmx200mm，亦可選購300mmx300mm
    2、全行程平面度±4um
    3、各軸重新性±1um
    4、各軸精度±4um
    5、潔凈室等級100適用，亦可選購等級10