詳細介紹
一、產品簡介
該款張力傳感器采用高精度電阻應變式工作原理,使用特種不銹鋼材料精密加工而成,內部結構設計巧妙,安裝方便,采用全激光焊接,防水、防潮性能*,廣泛用于:硅片切割機,藍寶石切割,晶體切割、金屬線、光纖、碳纖維等各種線材在線張力檢測。相比較日本 CBE1-10K-S04,CBE1-20K等系列張力傳感器,此款傳感器精度更高,防過載能力更強,現場安裝及應用更簡單。
二、產品特性
硅片切割中鋼線的張力是硅片切割過程中核心要素之一,張力控制不好,是產生線痕片,崩邊。張力過大,懸浮在鋼線上的碳化硅就很難進入切割區,切割效率降低,出現線痕片,斷線幾率增加。張力過小,會導致鋼線彎曲度增值,鋼線帶沙能力下降,導致切割能力下降,出現線痕片。適當運用張力傳感器和伺服電機閉環控制使得加工精度進一步得到提高,確保加工的單晶硅,多晶硅的硅片完好。
參數 | 技術指標/Technique | 參數 | 技術指標/Technique |
精度等級 | C3 | 輸出電阻 | 350±10Ω |
輸出靈敏度 | 2.0±0.05mV/V | 絕緣電阻 | ≥5000MΩ/100VDC |
零點輸出 | ±2%F.S. | 激勵電壓 | 5-15V |
非線性 | 0.03%F.S. | zui大激勵電壓 | 20V |
滯后 | 0.03%F.S. | 溫度補償范圍 | -10~40℃ |
重復性 | 0.03%F.S. | 工作溫度范圍 | -30~70℃ |
蠕變(30min) | 0.02%F.S. | 安全超載 | 150%F.S. |
溫度靈敏度漂移 | 0.05%F.S./10℃ | 材料 | 鋁合金 |
零點溫度漂移 | 0.03%F.S./10℃ | 防護等級 | IP67 |
輸入電阻 | 385±20Ω |
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